& EMSP; & EMSP; 物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，纳米二氧化硅 亲水性将污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸入。基于物理反应的等离子清洗，也称为溅射蚀刻（SPE）或离子铣削（IM），据说可以保持物体的清洁度，不会引起化学反应，并且在被清洗的表面上不会留下氧化物，具有优势。 化
